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MICHELL針對(duì)半導(dǎo)體和高純氣領(lǐng)域濕度異動(dòng)的解決方案

更新時(shí)間:2009-02-23      點(diǎn)擊次數(shù):2111

 

MICHELL針對(duì)半導(dǎo)體和高純氣領(lǐng)域濕度異動(dòng)的解決方案

密析爾儀表公司很高興宣布推出自己的微量水分異動(dòng)傳感器-Pura Plus。 Pura Plus 是一款在線的微量水分異動(dòng)傳感器,專為半導(dǎo)體晶圓廠的高純惰性氣體而設(shè)計(jì); 適合多點(diǎn)安裝在氣路進(jìn)入制程工具前的zui末端。 Pura Plus 安裝的管網(wǎng)上,可以快速的(小于一分鐘)偵測(cè)出在1 ppb 基準(zhǔn)上低至20ppb 的濕度異動(dòng)。

為了同時(shí)保證達(dá)到高靈敏度和快速反應(yīng)的要求,密析爾創(chuàng)造了一種*的偵測(cè)算法,并輔以全新的適合高純氣的陶瓷傳感器設(shè)計(jì)。除此以外,Pura Plus 還可以滿足半導(dǎo)體行業(yè)的特殊的包裝要求,Pura Plus達(dá)到了材質(zhì)和表面處理的zui高標(biāo)準(zhǔn), 整個(gè)裝配和包裝都是在100 級(jí)的潔凈室完成。在包裝前,密析爾還要在10-9 bar / 秒的條件下對(duì)Pura Plus進(jìn)行密封性測(cè)試,以達(dá)到在兩年內(nèi)免維護(hù)和正常工作的設(shè)計(jì)要求。信號(hào)通過(guò)MODBUS輸出,以LED交通燈的形式顯示警告和報(bào)警狀態(tài)。將來(lái)還將具有4-20mA輸出。

這款新的傳感器是密析爾儀表針對(duì)晶圓工業(yè)在尺寸和規(guī)格方面需求的相應(yīng)。晶圓廠不斷地在推動(dòng)技術(shù)以達(dá)到在元件尺寸和封裝上的要求。新的更大尺寸的晶圓具有更昂貴的單位價(jià)值,使得晶圓廠不斷提高產(chǎn)出,減少由于污染而導(dǎo)致的殘品率。當(dāng)前規(guī)定大宗散裝惰性氣(N2,Ar)的潮氣污染水平要小于10 ppb, 而趨勢(shì)是要降低至1ppb以下。

通常,在大宗散裝氣體進(jìn)入FAB前的zui末端,通過(guò)安裝大型而復(fù)雜的儀器來(lái)監(jiān)測(cè)濕度污染,存在著價(jià)格昂貴而且反應(yīng)速度慢的問(wèn)題, 而大宗氣體的濕度污染是不常發(fā)生的; 與此相反,在FAB的內(nèi)部,由許多的分管,節(jié)點(diǎn),和使用點(diǎn)而構(gòu)成的管網(wǎng),即傳統(tǒng)的濕度監(jiān)測(cè)點(diǎn)的下游,潮氣進(jìn)入?yún)s是經(jīng)常發(fā)生的,造成的原因可能是微小的泄漏,系統(tǒng)設(shè)計(jì)缺陷,元件損壞,或者流程上的失敗。Pura Plus 的小巧尺寸和創(chuàng)新概念使得在多個(gè)使用點(diǎn)的安裝成為可行,成為保護(hù)晶圓制造流程的一個(gè)投入少,見(jiàn)效快的手段。

英國(guó)MICHELL擁有冷鏡式、陶瓷氧化鋁等濕度傳感器。英國(guó)密析爾(MICHELL)儀表為zui大的濕度露點(diǎn)儀表生產(chǎn)廠家,在歐洲濕度檢測(cè)領(lǐng)域有過(guò)半的*,擁有超過(guò)35年的專業(yè)技術(shù),開(kāi)發(fā)一整套變送器、露點(diǎn)儀、校驗(yàn)系統(tǒng)等產(chǎn)品,歐盟/美國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室全都是使用MICHELL產(chǎn)品作為標(biāo)準(zhǔn)儀器。珠海恒智電子科技有限公司是英國(guó)密析爾(MICHELL)儀表在中國(guó)地區(qū)全程銷售技術(shù)提供商,咨詢產(chǎn)品。:、6102315   
 
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